蚀刻工艺的环境影响倒逼技术创新，从有害物质替代到资源回收，行业正走向绿色制造。
蚀刻气体的替代方案
全氟化合物（PFCs）减排：CF₄、C₄F₈等气体温室效应是CO₂的数千倍，新型气体如C₅F₁₀O（介电质蚀刻）可降低90%排放。
无氟蚀刻技术：采用Cl₂/N₂混合气体蚀刻硅，通过侧壁氮化硅钝化层实现高深宽比结构。
废液回收与循环利用
铜蚀刻液再生：电解回收法将废液中Cu²+还原为金属铜，再生效率达85%。
酸雾抑制技术：在湿法蚀刻槽添加表面活性剂，减少HF酸挥发，保护工人健康。
设备能效优化方向
低功率等离子体源：通过ECR（电子回旋共振）技术提升离化率，功耗降低40%。
余热回收系统：将蚀刻腔体冷却水热量用于工厂供暖，减少能源浪费。
